AS200
Материалы из руководства AS200
AS200 — массовый регулятор расхода газа для точного измерения и управления расходом обычных технологических газов. Данные ниже переведены и структурированы по руководству производителя AS200, версия A2.
Назначение и применение
Серия применяется для контроля и измерения массового расхода газа в технологическом оборудовании: эпитаксия, диффузионные процессы, плазменное травление, напыление, ионная имплантация, CVD, системы смешения и дозирования газа, газоотбор, капиллярные измерители и газовые хроматографы.
Основные характеристики
| Модель | AS200 |
|---|---|
| Тип клапана | Нормально закрытый |
| Газы калибровки/измерения | Воздух, кислород O2, азот N2; аргон Ar, углекислый газ CO2 |
| Диапазоны для воздуха/O2/N2 | 1-100, 2-200, 3-300 ст. см³/мин; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30, 0,5-50 ст. л/мин; 1-100, 2-200 ст. л/мин |
| Диапазоны для Ar/CO2 | 1-100, 2-200, 3-300 ст. см³/мин; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30 ст. л/мин; 0,5-50, 1-100 ст. л/мин |
| Точность | ±1,0% заданного значения при ≥35% полной шкалы; ±0,35% полной шкалы при <35% полной шкалы; для части диапазонов ±1% полной шкалы |
| Линейность | ±0,5% полной шкалы |
| Повторяемость | ±0,2% полной шкалы |
| Время отклика | 1 с или ≤2 с, в зависимости от исполнения |
| Рабочий перепад давления | 0,05-0,35 МПа до 10 ст. л/мин; 0,1-0,35 МПа до 30 ст. л/мин; 0,2-0,45 МПа до 50 ст. л/мин; 0,2-0,45 МПа для 100-200 ст. л/мин |
| Температурный коэффициент | Ноль: ≤±0,05% полной шкалы/°C; регулирование: ≤±0,1% полной шкалы/°C до 30 ст. л/мин, ≤±0,2% полной шкалы/°C выше 30 ст. л/мин |
| Прочность по давлению | 3 МПа |
| Герметичность | 1×10⁻¹⁰ Па·м³/с He или 1×10⁻⁹ Па·м³/с He, в зависимости от исполнения |
| Уплотнение | Фторкаучук |
| Рабочая температура | 5-45 °C |
| Питание | +15-+28 В DC |
| Входные сигналы | RS-485 или EtherCAT; аналоговый 1-5 В DC или 4-20 мА |
| Выходные сигналы | RS-485 или EtherCAT; аналоговый 1-5 В DC или 4-20 мА |
| Дрейф нуля | <0,6% полной шкалы/год без коррекции нуля |
| Разъёмы процесса | Двойное обжимное соединение φ3/φ6/φ10 мм, 1/8″, 1/4″, 3/8″, VCR 1/4″, штуцеры φ4/φ5/φ6 и A-Тип по исполнению |
| Электрический разъём | D-sub 9 Контакт; для EtherCAT — соответствующие разъёмы EtherCAT |
| Масса | Около 0,95 кг или около 2,56 кг, в зависимости от диапазона |
Монтаж и эксплуатация
Рекомендуемое положение монтажа — горизонтальное. При вертикальной установке производитель рекомендует выполнить калибровку нуля. Перед установкой нужно проверить направление стрелки потока, использовать сухой чистый газ, избегать ударов и вибраций, а перед подачей коррозионных газов продувать прибор сухим инертным газом не менее 1 часа.
Интерфейсы и управление
AS200 поддерживает цифровое и аналоговое управление. Коррекция нуля выполняется программной командой или кнопкой: поток газа должен отсутствовать, кнопку нуля удерживают более 5 секунд до мигания зелёного индикатора, после завершения индикатор перестаёт мигать.
Диагностика
При ненулевом показании без расхода проверяют закрытие запорного клапана и выполняют коррекцию нуля. При невозможности управления проверяют питание, управляющий сигнал и загрязнение MFC. При ошибках связи проверяют кабель, адрес устройства и скорость обмена.
Материалы из руководства по эксплуатации
Руководство описывает интеграцию расходных датчиков AOSONG и влияние механики канала на погрешность и время отклика. Документ описывает обмен AS200/AS200B по Modbus RTU через RS485.
Параметры последовательного протокола Modbus RTU
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Формат протокола | Modbus-RTU |
| CRC-полином | 0xA001 |
| Скорость связи | 2400 / 4800 / 9600 / 19200 бит/с |
| Стартовый бит | 1 бит |
| Биты данных | 8 бит |
| Стоповый бит | 1 бит |
| Контроль четности | Нет |
Функциональные коды AS200
| Код | Название | Тип данных | Назначение |
|---|---|---|---|
| 03 | Чтение регистров хранения | Целое | Чтение значения регистра |
| 06 | Запись одного регистра | Целое | Запись конкретного шестнадцатеричного значения в регистр хранения |
Основные регистры Modbus RTU AS200
| Адрес | Доступ | Код | Множитель | Регистр | Примечание |
|---|---|---|---|---|---|
| 0 | Только чтение | 03 | 1 | Мгновенный расход [31:16] | Значение мгновенного расхода: 32-bit число с плавающей точкой |
| 1 | Только чтение | 03 | 1 | Мгновенный расход [15:0] | Младшая часть значения |
| 2 | Чтение/запись | 03/06 | 1 | Заданный расход [31:16] | Заданное значение расхода: 32-bit число с плавающей точкой |
| 3 | Чтение/запись | 03/06 | 1 | Заданный расход [15:0] | Младшая часть значения |
| 4 | Чтение/запись | 03/06 | 1 | Накопленный расход [63:48] | 64-bit число двойной точности; запись 1 очищает накопленный расход |
| 5 | Чтение/запись | 03/06 | 1 | Накопленный расход [47:32] | Часть значения накопленного расхода |
| 6 | Чтение/запись | 03/06 | 1 | Накопленный расход [31:16] | Часть значения накопленного расхода |
| 7 | Чтение/запись | 03/06 | 1 | Накопленный расход [15:0] | Младшая часть значения |
| 8 | Чтение/запись | 03/06 | 1 | Адрес ведомого устройства | Адрес Modbus по умолчанию: 1 |
Сведения извлечены из официальных руководств и даташитов AOSONG; числовые значения сохранены без пересчета.
Документация на русском
Файлы сохранены локально на сайте; названия и пояснения приведены на русском, числовые данные в документах оставлены по официальному источнику.
- Руководство по проектированию датчиков расхода AOSONGОфициальный документ AOSONG, сохраненный локально на сайте.
- Протокол Modbus для контроллеров расхода AS200 AOSONGОфициальный документ AOSONG, сохраненный локально на сайте.
Техническая карточка PDF
Русскоязычный документ с фотографией и доступными подтвержденными данными модели.
Техническая карточка AS200 в PDFСвязанные модели AOSONG
Инженерная поддержка
Подобрать оборудование AOSONG, изучить принципы MEMS- и оптических датчиков или перейти к инженерной консультации.