Технологии MEMS, оптических и влажностных датчиков

Современные измерительные приборы используют разные физические принципы. Выбор принципа влияет на диапазон, быстродействие, энергопотребление и требования к монтажу.

Пьезорезистивные MEMS-датчики давления

В кремниевой мембране формируется резистивный мост. Давление деформирует мембрану и изменяет сопротивление его элементов. Неусиленный сенсор требует внешнего аналогового тракта, а компенсированный модуль может передавать готовое цифровое значение.

Тепловое измерение перепада давления и расхода

Микронагреватель и температурные элементы регистрируют перенос тепла потоком газа. Этот принцип применяется для малых расходов и небольших перепадов давления, где важно быстрое измерение около нуля.

Инфракрасное измерение газов

Оптический канал регистрирует поглощение инфракрасного излучения молекулами газа. Такой подход используется для диоксида углерода и отдельных хладагентов и не требует расходуемого электрохимического реагента.

Емкостное измерение влажности

Полимерный чувствительный слой изменяет электрическую емкость при поглощении водяного пара. Цифровой датчик объединяет чувствительный элемент, измерение температуры, АЦП и интерфейс связи.

Как читать техническую карточку

Диапазон измерения не следует смешивать с рабочей температурой электроники. Точность указывается вместе с условиями, интерфейс — вместе с напряжением питания, а габариты — с конкретным исполнением корпуса. Патент описывает технический подход и не заменяет паспорт конкретной модели.

Примеры оборудования

AGR10 — пьезорезистивный сенсор давления; ADP900 — тепловой датчик перепада давления; ACD1200 — инфракрасный датчик CO₂; AHT20 — емкостный датчик влажности.