AS200-103822594820 AOSONG — Датчики, сенсоры, расходомеры и вакуумметры Aosong

AS200-103822594820 — отдельная модификация ASAIR/AOSONG из публичной товарной витрины. Карточка оформлена на русском языке и не содержит внешних ссылок.

Регулятор расхода газа ASAIR as200 нержавеющая сталь встроенный воздушный клапан диапазон 1-100 мл/мин точность 1% полной шкалы режим связи 1-5 в характеристики интерфейса 1/4

Назначение

Модель относится к группе: расходомер или регулятор расхода. Используйте карточку для предварительного подбора по диапазону, среде, интерфейсу, материалу и исполнению.

Характеристики модификации

Базовая модель	AS200
Идентификатор модификации	103822594820
Диапазон	1-100 мл/мин
Выход/интерфейс	1-5 В
Материал	нержавеющая сталь
Выход	1-5 в характеристики интерфейса 1/4
Интерфейс/резьба	1/4

Проверка перед подбором

Для инженерного применения сверяйте диапазон, среду, питание, интерфейс и механическое исполнение с официальной документацией AOSONG/ASAIR и условиями вашей системы.

Материалы из руководства AS200

AS200 — массовый регулятор расхода газа для точного измерения и управления расходом обычных технологических газов. Данные ниже переведены и структурированы по руководству производителя AS200, версия A2.

AS200 AOSONG массовый регулятор расхода газа

Назначение и применение

Серия применяется для контроля и измерения массового расхода газа в технологическом оборудовании: эпитаксия, диффузионные процессы, плазменное травление, напыление, ионная имплантация, CVD, системы смешения и дозирования газа, газоотбор, капиллярные измерители и газовые хроматографы.

Основные характеристики

Модель	AS200
Тип клапана	Нормально закрытый
Газы калибровки/измерения	Воздух, кислород O2, азот N2; аргон Ar, углекислый газ CO2
Диапазоны для воздуха/O2/N2	1-100, 2-200, 3-300 SCCM; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30, 0,5-50 SLM; 1-100, 2-200 SLM
Диапазоны для Ar/CO2	1-100, 2-200, 3-300 SCCM; 0,03-3, 0,05-5, 0,1-10, 0,2-20, 0,3-30 SLM; 0,5-50, 1-100 SLM
Точность	±1,0% SP при ≥35% FS; ±0,35% FS при <35% FS; для части диапазонов ±1% FS
Линейность	±0,5% FS
Повторяемость	±0,2% FS
Время отклика	1 с или ≤2 с, в зависимости от исполнения
Рабочий перепад давления	0,05-0,35 МПа до 10 SLM; 0,1-0,35 МПа до 30 SLM; 0,2-0,45 МПа до 50 SLM; 0,2-0,45 МПа для 100-200 SLM
Температурный коэффициент	Ноль: ≤±0,05% FS/°C; регулирование: ≤±0,1% FS/°C до 30 SLM, ≤±0,2% FS/°C выше 30 SLM
Прочность по давлению	3 МПа
Герметичность	1×10⁻¹⁰ Па·м³/с He или 1×10⁻⁹ Па·м³/с He, в зависимости от исполнения
Уплотнение	Фторкаучук
Рабочая температура	5-45 °C
Питание	+15-+28 В DC
Входные сигналы	RS485 или EtherCAT; аналоговый 1-5 В DC или 4-20 мА
Выходные сигналы	RS485 или EtherCAT; аналоговый 1-5 В DC или 4-20 мА
Дрейф нуля	<0,6% FS/год без коррекции нуля
Разъёмы процесса	Двойное обжимное соединение φ3/φ6/φ10 мм, 1/8″, 1/4″, 3/8″, VCR 1/4″, штуцеры φ4/φ5/φ6 и A-type по исполнению
Электрический разъём	D-sub 9 pin; для EtherCAT — соответствующие разъёмы EtherCAT
Масса	Около 0,95 кг или около 2,56 кг, в зависимости от диапазона

Монтаж и эксплуатация

Рекомендуемое положение монтажа — горизонтальное. При вертикальной установке производитель рекомендует выполнить калибровку нуля. Перед установкой нужно проверить направление стрелки потока, использовать сухой чистый газ, избегать ударов и вибраций, а перед подачей коррозионных газов продувать прибор сухим инертным газом не менее 1 часа.

Интерфейсы и управление

AS200 поддерживает цифровое и аналоговое управление. Коррекция нуля выполняется программной командой или кнопкой: поток газа должен отсутствовать, кнопку нуля удерживают более 5 секунд до мигания зелёного индикатора, после завершения индикатор перестаёт мигать.

Диагностика

При ненулевом показании без расхода проверяют закрытие запорного клапана и выполняют коррекцию нуля. При невозможности управления проверяют питание, управляющий сигнал и загрязнение MFC. При ошибках связи проверяют кабель, адрес устройства и скорость обмена.